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Mitutoyo News
新商品 白色干渉光学ユニット WLI-Unit 販売開始
株式会社ミツトヨ(本社:川崎市高津区、代表取締役社長:沼田 恵明)は、白色干渉光学ユニット WLI-Unit の販売を開始いたします。
主な特長
- 白色光干渉による非接触高精度微細表面性状計測が可能→3D形状測定、3D粗さ測定
- 光学倍率に依存しない高さ測定精度 低倍率レンズでも高いZ分解能で測定可能
- 高アスペクト比測定 光学系のNAに依存しない検出による高アスペクト比形状測定に対応
- 外乱振動に対する高ロバスト性
- 小型軽量