XYZピエゾ・ステージで、比類ない3次元位置決め精度を実現

ストローク120 μm×120 μm×12 μm

40×40mmの開口部

特許出願中のパラレル・キネマティック機構が生み出す、抜群の幾何学的性能

静電容量センサによる直接計測で、優れた位置決め分解能と線形性を達成

AerotechのXYZピエゾ位置決めステージQNP3シリーズでは、サブ・ナノメートルの分解能と高い応答性、優れた幾何学的性能を、コンパクトな3自由度ユニットにまとめました。また、40×40mmの開口部を設け、 閉ループ制御での最大ストローク100µm×100µm×10µm（開ループ制御では120µm×120µm×12µm）を実現 しています。そのデザインは、光学顕微鏡や走査型プローブ顕微鏡などの検査アプリケーション、さらに3自由度の操作で部品に両側からアクセスする必要がある製造アプリケーションに理想的です。

高精度なパラレル・キネマティック機構

QNP3ピエゾ・ステージは、パラレル・キネマティック機構のたわみと、計測のための設計を有限要素法によって最適化し、各軸の優れた精度と高い剛性、長寿命を確実なものとしました。高剛性で共振周波数が高いことから、プロセスのスループットが向上し、閉ループ制御による高速な応答も可能になっています。

この特許申請中の駆動機構によって、計測システムとしてアッベの原理を保ちながら、X軸およびY軸のヨー誤差を最小化しています。こうした設計から、X・Y軸の全ストロークにわたって並外れた位置決め精度が実現しました。また、Z軸のアクチュエータと静電容量センサも、垂直方向の幾何誤差を最小限に抑えつつ、アッベの原理に従ったフィードバックができるよう設計されています。

サブ・ナノメータの位置決め性能

QNP3ステージは、閉ループあるいは開ループ制御で使用できます。独自の静電容量センサによる並列測定デザインによって、位置決めキャリッジの位置を直接測定します。これにより、サブ・ナノメータの分解能と0.01%未満の直線性誤差、数ナノメータの繰り返し精度を実現しています。

超高精度な制御

QNP3ステージは、AerotechのQシリーズ・コントローラとドライバを組み合わせることで、広帯域な位置決め制御を保ったまま、サブ・ナノメータの位置決め分解能と位置保持精度を実現します。Dynamic Controls ToolboxやMotion Designerなど先進のソフトウェアもご利用いただけ、繰り返し学習制御や高調波除去、コマンド・シェーピングを含めた高効率で操作性に優れた多彩なツールをご用意しています。そのため、追従誤差の改善や立ち上がり時間・整定時間がさらに短縮されます。OEMドライバもオプションとしてご提供しています。

設計オプション

オプションの取付プレートを用いれば、インチ規格およびメートル規格の光学テーブルに直接取り付けできます。また、開口部を塞ぐテーブルトップもご用意しています。さらにQNP3ピエゾ・ステージでは、ご要望に応じて、材料のカスタマイズや真空対応仕様にもお応えします。

さらに詳しい情報につきましては、Steve McLane までお問合せください （電話：412-967-6854、Eメール： This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.'+addy_textfa2fa8e6fbb5573239436fe72eaa70d5+'<\/a>'; からご確認 いただけます。