顕微鏡対物レンズや光学系の位置決めに向けた精密ピエゾ・ステージ、
閉ループ制御ストローク400μm、開ループ制御ストローク450μm
優れた立ち上がり・整定時間と走査性能
大口径で開口数の大きな対物レンズに対応した設計
直径29mmの開口部
AerotechのQFOCUS®_QF−50ピエゾ・ナノ位置決めステージは、高性能な顕微鏡対物レンズや光学系の位置決め用に設計されています。閉ループ制御でのストローク400μmと開ループ制御でのストローク450μmを実現したことに加え、高速性、0.01%の直線性、サブ・ナノメートルの分解能、4nmの双方向繰り返し精度を達成しました。このQF−50ステージなら、光学機器や次世代の微細レーザー加工アプリケーションにも応用可能です。高剛性な機械設計を施したことで、競合他社のピエゾ・スキャナ製品よりも優れ、より大口径で開口数（NA）の大きな対物レンズに対応できます。大きなストロークとともに、高い精度とスループットが求められる光学系の位置決め用途には、QF−50ステージが最適です。
精密な設計
QFOCUS_QF−50を駆動する精密な屈曲ガイドは、優れた剛性と共振周波数になるよう有限要素法解析を用いて最適化し、プロセスのスループット向上と閉ループ制御の高速な応答を可能にしました。特にQF−50の屈曲ガイド・ベアリングの設計には、細心の注意を払い、全運動範囲にわたって真直度誤差40nmという幾何学的性能を保証しています。
直接計測によるフィードバック
オプションの閉ループ制御用フィードバックには、独自の静電容量式センサによる設計を採用して、サブ・ナノメートルの分解能と高い直線性を達成可能にしました。金属ひずみゲージやピエゾ抵抗型センサを用いる場合とは異なり、静電容量式センサによって位置決めキャリッジの位置を優れた精度と繰り返し性で直接測定するためです。
柔軟かつ精密な制御
QF−50にAerotechのQシリーズ・コントローラとドライバを組み合わせれば、広帯域な位置決め制御を保ったまま、サブ・ナノメータの位置決め分解能と位置保持精度が実現します。Dynamic Controls ToolboxやMotion_Designerなど先進のソフトウェアもご用意しており、繰り返し学習制御や高調波除去、コマンド・シェーピングを含めた高効率で操作性に優れた多彩なツールを活用いただけます。そのため、追従誤差の改善や立ち上がり時間・整定時間がさらに短縮できます。さらに、オプションとしてOEMドライバもご提供しています。
取り付けの柔軟性
QF−50では、ほとんどの顕微鏡および対物レンズに適合するねじ込み式アダプタを採用しています。顕微鏡の対物レンズ・タレットに取り付けることで、任意の方向で高速かつシンプルな位置決めが可能になります。さらに、ステージ本体にもねじ穴を設けて、機械やその他の光学機器の特殊なインターフェイスにも取り付けられるようにしています。また標準仕様として、QF−50は直径29mmの開口部を備えています。ステージ設計やストローク、ねじ込み式アダプタについてのカスタマイズにもお応えします。
さらに詳しい情報につきましては、Steve McLaneまでお問合せください （電話：412-967-6854、Eメール：This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it."This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.https://www.aerotech.com/product-catalog/piezo-nanopositioners/qfocus-qf-50.aspxからご確認いただけます。
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