THK、半導体製造用新型免震テーブルを発売
THKは、地震に対する堅牢な保護を提供し、大地震時でもウェハの欠陥を最小限に抑え、設備の健全性を維持する垂直炉設備用免震テーブルを導入。
THKは、半導体製造装置の地震対策として、新型免震テーブル「縦型炉用新型免震テーブル」を開発し、10月から受注を開始します。
「縦型炉用新型免震台｣は、中小地震（およそ震度3～5弱）では縦型炉内にあるウェハーの欠陥の低減、大地震（およそ震度5強以上）では縦型炉本体と石英パーツを保全することで、幅広い地震動に対応が可能な免震台です。
従来からの免震台は、主に大地震が発生した際に、縦型炉本体の損傷を防いで機能を維持することを目的としていました。一方で、発生頻度が高い中小地震でも縦型炉内にあるウェハーに欠陥が生じることがあり、生産への影響が懸念されることから、半導体業界ではその対策を要望する声が以前から多数ございました。THKではこのようなニーズにお応えするため、中小地震から大地震までワイドレンジに対応可能な「縦型炉用新型免震台」を自社開発いたしました。免震性能切替機構を備えており、地震発生後、短期間での生産再開に貢献いたします。
THKは、世界中の産業機械で採用されてきた直動案内の技術を応用して、建物用免震からフロア免震まで名実共に数多くの実績を積み重ねて参りました。地震の揺れを低減して大切なものを保全するTHK免震により、お客様のニーズに合わせた最適な地震対策を提案いたします。
特長
段階可動方式を用いた新機構を採用
THKの従来型免震台よりも低い加速度で起動し、特定の可動域を超えると免震性能が切り替わる二段階の特性を有し、揺れの大きさに応じた個別の免震性能を発揮させることが可能です。
縦型炉の仕様に合わせたカスタマイズ
縦型炉の荷重を支える支承ユニットを複数配置し、各支承ユニットは鋼製フレームとプレートで連結する構造のため、搭載する縦型炉の形状や仕様に合わせて自由度の高い設計が可能です。
3種類の支承ユニットを展開
支承ユニットは、減衰・復元機構、免震性能切替機構の有無で3種類をラインナップしています。各支承ユニットの組合せにより、最適な性能を発揮する免震台を構成することが可能です。
www.thk.com
